人們在很早以前就認(rèn)識到測量表面粗糙度的重要性 。但由于技術(shù)工藝水平的落后,粗糙度儀zui早只能單純依靠人的視覺和觸覺來估計,即通過目測或用手觸摸 試件與標(biāo)準(zhǔn)樣塊進(jìn)行比較,隨著生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,人們又采用了比較顯微鏡進(jìn)行比對。這些原始的 測量方法只能對表面微觀不平度做出定性的綜合評定。
表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)的提出和發(fā)展與工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān),它經(jīng)歷了由定性評定到定量評定兩個階段。表面粗糙度對機(jī)器零件表面性能的影響從1918年開始首先受到注意,在飛機(jī)和飛機(jī)發(fā)動機(jī)設(shè)計中,由于要求用zui少材料達(dá)到zui大的強(qiáng)度,人們開始對加工表面的刀痕和刮痕對疲勞強(qiáng)度的影響加以研究。但由于測量困難,當(dāng)時沒有定量數(shù)值上的評定要求,只是根據(jù)目測感覺來確定。在20世紀(jì)20~30年代,世界上很多工業(yè)國家廣泛采用三角符號(▽)的組合來表示不同精度的加工表面。
從1929年德國的施馬爾茨Schm altZ發(fā)明了用光杠桿進(jìn)行放大的表面輪廓記錄儀后,人們就一直致力于表面質(zhì)量檢測技術(shù)的 研究,從此開始了對表面粗糙度的數(shù)量化描述。1936年艾博特Abbott制成了*臺 車間用測量表面粗糙度的儀器,它是現(xiàn)在美國Bend公司測微計分廠生產(chǎn)的表面輪廓儀的 。這種粗糙度儀儀器用測量距離輪廓峰頂?shù)纳疃扰c支承面積比的關(guān)系曲線即艾傅特曲線來表征表面粗糙度。 測量和評定表面形貌的通用方法是輪廓法,這種方法只需測量工件表面上的幾個截面輪廓,然后再 根據(jù)輪廓曲線上的幾何特征計算出評定表面質(zhì)量的粗糙度參數(shù),目前世界各國有關(guān)表面粗糙度的標(biāo) 準(zhǔn)都是根據(jù)輪廓法制定出來的。常用的表面輪廓測量方法有很多,如觸針方法、各種光學(xué)方法 和掃描探針顯微鏡技術(shù)等。
表面粗糙度與零件表面功能有著密切的關(guān)系,粗糙度儀由于計算機(jī)技術(shù)、電子技術(shù)、數(shù)據(jù)處理能力的提高,研制了許 多三維表面微觀形貌測量儀,使得在局部表面上三維評定表面粗糙度成為可行,而且上方興未艾。隨著現(xiàn)代工業(yè)的飛速發(fā)展,對零件的加工表面質(zhì)量提出了越來越高的要 求,而掃描探針顯微鏡技術(shù)、高精度粗糙度測量儀器的發(fā)展和數(shù)據(jù)處理能力的提高,使得三維表面微觀形貌的測量成為可能。
80年代用來獲取用STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。這個目前被稱為“掃描探針顯 微鏡ScanningProbe靦croscoPe,sph八"的顯微儀器家族還在不斷 發(fā)展,成為人類認(rèn)識微觀世界的有力工具。
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